Оборудование проектируется и оснащается исходя из реализуемой технологии. В качестве технологических источников могут быть использованы: магнетронные распылительные системы, электронно-лучевые испарители, резистивные испарители. Для повышения адгезионных свойств установка может оснащаться источников ионов для предварительной очистки или ассистирования при осаждении покрытий. Для подбора оборудования обращайтесь к нашим специалистам.
Акцент в линейке производственного оборудования сделан на стабильности и воспроизводимости процессов, поэтому данное оборудование, преимущественно работает в автоматическом режиме по заданному рецепту. Доступны исполнения в виде шлюзовых установок, а также кластерные решения.
