Предназначено для очистки, ионного травления и активации поверхности различных изделий. Модельный ряд включает в себя оборудование напольного и настольного типа. Оборудование напольного типа отлично подходит для серийных производств или обработки габаритных деталей. Оборудование настольного типа отлично подойдет для лабораторий и мелкосерийных производств.
Установки плазмохимического травления (реактивного плазменного травления) предназначены для сухого, в том числе для глубокого травления, реализация "Bosch процесса".
FAB 100/150 – серия оборудования для кристального производства, предназначенная для обработки полупроводниковых пластин диаметром 100 и 150 мм и состоящая из универсальных модульных платформ. Оборудование FAB 100/150 позволяет формировать функциональные слои на пластинах и проводить контроль привнесенной дефектности.
Концепция проекта FAB 100/150 сформирована с учетом результатов проекта Minimal Fab и SWOT анализа состояния микроэлектроники в РФ.
В оборудовании применяются технические и технологические решения, соответствующие современному оборудованию для производств на пластинах 200 и 300 мм. Конструкция установок обеспечивает высокую производительность и качество технологических процессов, а также экономическую гибкость при производстве широкого диапазона размеров партий от исследовательских единичных экземпляров до мелких и средних производственных серий.
В качестве связующего звена мы предлагаем универсальные производственные платформы модули, обеспечивающие выполнение большинства стандартных операций индивидуальной обработки пластин. Наличие универсальной платформы позволит быстро расширить номенклатуру производственного оборудования, сократить сроки внедрения современных технологий в производство, сократить путь от научной разработки до промышленного внедрения.
Установки плазменной обработки в области здравоохранения используют в целях: обработки контактных линз, съемных протезов и для обработки медицинских изделий.
