SOFOS-2

Параметры	Диаметр 200 мм	Диаметр 300 мм
Количество портов загрузки	2	2
Диаметр обрабатываемых пластин, мм	200	300
Проектные нормы, нм, не более	90	65
Загрузка-выгрузка пластин	SMIF- контейнер	FOUP-контейнер
Кинематическая производительность, пластин/ча, не менее	60	60
Привносимая дефектность, частиц/м2, не более Размер частиц, нм, не менее	91 частицы/м2 75 нм	32 частицы/м2 45 нм
Класс чистоты в зоне транспортировки пластин, не хуже	ИСО 4	ИСО3
Масса изделия, кг, не более	350	587
Мощность, кВт, не более	2	2
Габариты изделия (ШхВхГ), мм	1928 х 1802 х 1356	1750х1950х1200

Посмотреть таблицу с подробными характеристиками

Двух-портовой переукладчик эксплуатируется в составе комплексов оборудования для изготовления полупроводниковых приборов на 200 мм пластинах с целью автоматизации производственного процесса, повышения пропускной способности и выхода годных изделий с поддержанием высоких показателей чистоты окружающей среды в рабочей зоне; интегрируется с технологическим и метрологическим оборудованием электронной промышленности.

Назначение: используется для сортировки, ориентации и идентификации пластин в защищенной минисреде с применением SMIF и FOUP контейнеров на промежуточном этапе технологического процесса серийного производства полупроводниковых приборов.