Оборудование предназначено для плазмохимического травления в фтористых газах, отлично подойдет для глубокого травления кремния. Подробнее о технологии можно прочитать в разделе "технологии".
У Вас возникли вопросы? Пожалуйста, отправьте нам сообщение!
