Настольная установка MPC-D2

Настольная установка MPC-D2 поставляется с объемом камеры от 12 до 36 литров. Благодаря своей компактности и эргономичность является отличным решением для лабораторий, а также для обработки небольших партий изделий на производствах.

В данной модификации есть возможность реализации ICP (индуктивно-связанной) плазмы. В отличии от классической CCP она имеет повышенную плотность и равномерность, что позволяет значительно повысить качество и скорость снятия фоторезиста с полупроводниковых пластин в процессах травления, а также повысить качество и равномерность обработки изделий при групповой загрузке в процессе очистки и активации.