Название параметра |
Значение |
|
Объем камеры |
от 2 до 12 л |
|
Генератор |
ВЧ, 13,56 МГц |
НЧ, 40 кГц |
Габариты |
355х570х730 мм |
|
Предельный вакуум |
5 Па |
Настольная установка MPC серии D1 - компактная установка с объемом камеры до 12 литров, поставляемая с низкочастотным или высокочастотным генератором. Отлично подойдет для исследований, проведения экспериментов, а также для обработки небольших партий изделий на серийных производствах. Низкочастотная установка лучше подойдет для ионно-плазменного травления, удаления пленок оксидов, а также очистки. Высокочастотная установка станет оптимальной для задач активации и очистки. При возникновении вопросов наши эксперты с радостью проконсультируют Вас!