| Параметр |
Значение |
| Миним-ный размер дефекта, нм |
От 90 до 80 |
|
Точность определения положения дефекта, мкм |
От ±50 до ± 25 |
| Диаметр пластин, мм |
100 / 150 |
| Габариты (ДхШхВ), см |
80х90х120 |
| Технология |
Рассеяния лазерного излучения на предмет наличия частиц, дефектности |
| Предназначение |
Контроль привнесенной дефектности на пластинах без топологии |
| Установка включает |
◦ Атмосферный модуль загрузки-выгрузки |
| Особенности работы |
Детектирование дефектов осуществляется с применением фокусированного интенсивного светового пучка, направленного на поверхность пластины в зону контроля. Свет, рассеянный поверхностью пластины, собирается оптической системой на детектор, полученный сигнал оцифровывается и обрабатывается специализированным программным обеспечением. По каждой пластине пользователю выдается отчет, содержащий информацию о наличии дефектов в зоне контроля, их размерах и месторасположении |
