Компания GN tech в рамках проекта GN FAB разрабатывает и производит серийно оборудование для микроэлектроники, предназначенное для:
проведения процессов подготовки пластин и осаждения слоев различных материаллов (кластерная многопозиционная установка),
травления пластин в удаленной плазме,
контроля привнесенной дефектности,
универсальные модули загрузки-выгрузки (https://gn-fab.ru/produktsiya/moduli/).
Конфигурация оборудования разрабатывается исходя из исследовательских или производственных задач. Оборудование, производимое для производств не подразумевает гибкую переналадку технологии и максимально оптимизировано под конкретную задачу заказчика. Оборудование для разработок и исследователей имеет максимально гибкое ПО и гибкое оснащение.
Подробнее с проектом GN FAB можно ознакомиться на официальном сайте https://gn-fab.ru/
