| Параметры |
Значения |
| Тип загрузки | Ручная |
| Технологические устройства |
Система ионного травления |
| Тип источника |
Ускоритель с анодным слоем |
| Количество источников ионов |
2 штуки |
| Средняя энергия ионов |
900 эВ |
| Скорость вращения подложек (регулируемая) | от 1 до 30 об/мин, регулировка с шагом 0,5 об/мин |
| Предельное давление в технологической камере |
5×10-4 Па |
Установка IONEX предназначена для ионно-плазменного травления покрытий на основе тонких пленок металлов и/или их соединений. Установка предназначена для групповой обработки подложек (до 16 подложек размером 60*48 мм) с возможностью переворота и обработки с 2 сторон в одном вакуумном цикле.
Особенности установки
- безшлюзовая технологическая вакуумная камера с ручной загрузкой изделий;
- технология ионно-лучевого травления покрытий;
- съемные держатели, предназначенные для подложек протяженными размерами 60х48 мм различной толщины (от 0,15 до 1,5 и более миллиметров) без переналадки и применения резьбовых соединений;
- легкосъемные экраны от запыления;
- безмасляная откачка на основе спирального и турбомолекулярного насосов;
- низкая стоимость обслуживания и эксплуатации;
- высокая надежность установки;
- возможность работы в автоматическом, полуавтоматическом и ручном режимах.
Установка представляет собой однокамерное оборудование с технологической камерой в виде горизонтального цилиндра. Одина из торцевых дверей камеры открываются на откатном механизме для загрузки, другой торец представляет собой дверь для обслуживания камеры. На загрузочной двери размещен механизм вращения держателей подложек, на противоположной – окно для наблюдения за процессом травления. В камере размещены ионные источники травления, внутрикамерные экраны. Откачка построена на базе турбомолекулярного насоса и безмасляного спирального насоса. Управление установкой полностью автоматизировано, с возможностью гибкого составления рецептов, протоколирования истории проведенных технологических процессов, аварийных ситуаций и действий оператора.
Подложки, закрепленные в держателях, располагаются по цилиндрической поверхности вдоль стенок камеры, вокруг технологических устройств. Механизм вращения держателей обеспечивает перемещение держателей по кругу. Держатели подложек – съемные, что дает возможность производить установку-снятие подложек на отдельном рабочем месте параллельно с проведением технологического процесса либо обслуживания установки. Конструкция держателя, сделанная по опыту предыдущих разработок оборудования для массовых производств, обеспечивает мягкое и надежное крепление подложек различной толщины (от 0,15 до 1,5 и более миллиметров) с минимальным затенением, без переналадки и применения резьбовых соединений.
