Вакуумная однопозиционная установка GERA предназначена для реализации технологических процессов в микроэлектронных производствах на пластинах диаметром до 100 мм или до 150 мм одиночных, в кассетах или в герметичном контейнере.
* по поводу возможности работы с пластинами других диаметров обращайтесь к менеджеру
Установка состоит из горизонтальной транспортной камеры с системой перемещения пластин со шлюзовой загрузкой и интегрированной технологической станции. Конструкция установки обеспечивает высокую производительность, качество технологических процессов, экономическую гибкость при производстве единичных экземпляров и производственных серий.
В состав установки входят:
- Вакуумная система
- Газовая система
- Технологический модуль
- Электрическая система с резервным источником питания
- Система охлаждения/термостатирования
- Система автоматизированного управления с сенсорным экраном
- Роботизированный модуль кассетной загрузки-выгрузки (опционально)
Кинематическая производительность – до 30 пластин в час и завит от длительности технологического процесса.
В зависимости от требований технологического процесса, вакуумная система строится на базе сухого форвакуумного насоса, турбомолекулярного или крионасоса, в том числе с химстойкой комплектацией. Система вакуумных датчиков обеспечивает полный контроль процесса во всем диапазоне работы установки.
