Установка с "барабаной" каруселью (ARTUM)

Установка ARTUM предназначена для осаждения многослойной металлизации методом ионного распыления в магнетронных системах с цилиндрическим катодом с предварительной ионной очисткой перед напылением. Компоновка схемы нанесения установки (источники распыления – внутри цилиндра, формируемого подложками) обеспечивает высокую эффективность использования распыляемого материала и компактность установки в целом.

Особенности установки:

- Одностороннее нанесение покрытия с равномерностью ±5% по загрузке (не менее 76 подложек 60х48 мм);

- Оригинальный механизм вращения барабана обеспечивает надежную работу без ударов и вибраций при частоте вращения от 1 до 40 оборотов/минуту;

- Нагрев до 350°С;

- Высоковакуумная откачка построена на базе турбомолекулярного насоса;

- Универсальные держатели для подложек толщиной от 0,15 до 1,5 мм с простой установкой/снятием;

- Минимальная занимаемая площадь, моноблочное исполнение;

- Автоматическое/ручное выполнение процесса по заданному рецепту с ведением логов технологических параметров, действий оператора, аварийных ситуаций и составлением паспортов проведенных процессов

Описание установки

Конструктивно установка выполнена в виде двух блоков: вакуумная камера установлена на каркасе и электрический шкаф, в котором размещена стойка управления и питания.

Камера установки – горизонтальный цилиндр с боковым отростком, который служит для размещения высоковакуумного насоса и его затвора. Стенки камеры – с каналами водяного охлаждения. Оба торца камеры снабжены откатывающимися дверями. На фронтальной двери располагаются механизм вращения барабана. На задней двери размещены технологические устройства. Обе двери в открытом состоянии могут поворачиваться на 90° для удобства обслуживания размещенных на них устройств.

Стенки камеры, механизм вращения и другие компоненты внутрикамерной оснастки закрыты сменными экранами – защитой от запыления.

В боковом отростке камеры, формирующем порт высоковакуумной откачки, размещены затвор высоковакуумного насоса.

Размещение технологических устройств оптимизировано для снижения тепловой нагрузки на подложки и минимизации взаимного запыления.

Система откачки построена на «сухом» форвакуумном насосе и высоковакуумном турбомолекулярном насосе. Размещение и ориентация высоковакуумного насоса обеспечивают его защиту от распыленного материала и механических частиц.

Высоковакуумный насос снабжен тарельчатым затвором. Уплотнение штока затвора выполнено на металлическом сильфоне, привод – пневматический.

Управление откачкой ведется по вакуумным датчикам, установленным на камере.

Для нанесения на подложки/изделия различных материалов и их комбинации по заданному технологическому процессу, в конструкции оборудования могут быть предусмотрены различные технологические устройства:

- Электронные испарители с кольцевым катодом – 2 шт.

- Планарные магнетроны или цилиндрические магнетроны – 3 шт;

Для управления нагревом применены регуляторы мощности на твердотельных реле. Температура контролируется термопарой для управления режимом нагрева и контроля работоспособности. Установленные нагреватели позволяют нагревать подложки до максимальной температуры 350°С.

Подложки устанавливаются на механизм вращения – барабан, установленный на передней двери. Держатели подложек разрабатываются под требуемый размер подложек и могут учитывать другие требования, например применение теневых масок.

Для прямоугольных подложек используется техническое решение, позволяющее устанавливать подложки с толщинами от 0,15 до 1,5 мм без переналадки. Решение обеспечивает минимальные зоны затенения, надежное и мягкое крепление подложек, длительный срок жизни держателя.

Барабан вращается электроприводом с управляемой частотой вращения. Вращение передается на карусель через вакуумный ввод. Максимальная скорость вращения – 40 оборотов в минуту).