Установка контроля привнесенной дефектности Aura-О предназначена для обнаружения дефектов на поверхности пластин диаметром 100/150 мм, определении их положений в привязке к системе координат и оценке размера каждого дефекта. Технологический процесс проходит при атмосферном давлении. Установка позволяет работать с одиночными пластинами, кассетами и герметичными контейнерами.
Технология - рассеяния лазерного излучения на предмет наличия частиц, дефектности
Предназначение - контроль привнесенной дефектности на пластинах без топологии
Состав оборудования
- Атмосферный модуль загрузки-выгрузки
- Модуль измерительный
- Индикатор световой
- Система питания
- Система управления
- Панель оператора
- Корпус
- Особенности работы
Детектирование дефектов осуществляется с применением фокусированного интенсивного светового пучка, направленного на поверхность пластины в зону контроля. Свет, рассеянный поверхностью пластины, собирается оптической системой на детектор, полученный сигнал оцифровывается и обрабатывается специализированным программным обеспечением. По каждой пластине пользователю выдается отчет, содержащий информацию о наличии дефектов в зоне контроля, их размерах и месторасположении
