В установке Aura S загрузка-выгрузка пластин осуществляется в автоматизированном режиме и обеспечивается без переналадки. Работа с открытыми кассетами для пластин 100, 150 и 200 мм, SMIF-контейнерами для пластин 200 мм и адаптированными под пластины 150 мм.
Состав оборудования
- Блок автоматизированной загрузки-выгрузки пластин из открытых кассет и/или SMIF контейнеров. Блок обеспечивает поштучную подачу пластин из кассеты на столик контрольно-измерительного модуля и обратно
- Детектирование размера пластин
- Картирование размещения пластин в кассетах
- Контроль наличия сдвоенных и косо вставленных пластин в кассете
- Контрольно-измерительного модуля. Модуль, предназначен для контроля и измерения светорассеивающих дефектов на поверхностях полупроводниковых пластин и пластин из сапфира. Он позволяет определить количество, положение и размеры частиц, а также оценить царапины и матовость поверхности.
- Блока автоматизированного управления
- Системы анализа и обработки данных
- Модуля поддержания чистоты воздуха класса 4 ИСО в зоне перемещения пластин и проведения измерений
