| Параметры | Значения |
| Диаметр пластин |
100 мм, 150 мм, 200 мм |
| Контейнеры |
SMIF для пластин 200 мм SMIF адаптированный под пластины 150 мм |
Унифицированный порт загрузки-выгрузки пластин из SMIF контейнеров и открытых кассет для интеграции с оборудованием и/или транспортными модулями в производстве микроэлектроники.
Порт без переналадки обеспечивает работу:
· с открытыми кассетами для пластин 100, 150 и 200 мм,
· SMIF-контейнерами для пластин 200 мм и адаптированными под пластины 150 мм.
Порт загрузки-выгрузки обеспечивает:
· Детектирование размера пластин
· Картирование размещения пластин в кассетах
· Контроль наличия сдвоенных и косо вставленных пластин в кассете
Дополнительно Порт может быть оснащен функцией считывания метки SMIF контейнера
