Модуль кассетной загрузки-выгрузки MIDAS – типовое решение, обеспечивающее поштучную подачу пластин 100 и 150 мм из кассет в шлюз установки и обратно.
Параметры модуля кассетной загрузки-выгрузки пластин:
- Кассеты для пластин 100 и 150 мм: открытые кассеты с H-bar по SEMI E1
- Количество станций под кассеты: 4 шт.
- «Чистота» (отсутствие частиц субмикронного размера) в зоне перемещения пластин
- Точность перемещения: ±0,05 мм
- Минимальное время перемещения: 0,5 с
- Совместимость по механическим интерфейсам с кассетами и оборудованием
Технология - мультикоординатный робот
Предназначением - поштучная подача пластин из кассет в шлюз установки и обратно
Состав оборудования
- Порт установки кассет
- Модуль ориентации и охлаждения
- Манипулятор
- Шасси
- Система управления
- Блок обеспыливания (опция)
Особенности работы
- Картирование размещения пластин в кассетах
- Контроль наличия сдвоенных и косо вставленных пластин в кассете
- Ориентация пластины перед подачей на обработку
Модуль снабжен блоком обеспыливания с ULPA фильтром, обеспечивающим класс 4 ИСО в зоне перемещения пластин на атмосфере. Каркас модуля имеет возможность подстройки высоты для позиционирования и фиксирования в «чистой комнате»
