Модули загрузки-выгрузки

Модуль загрузки-выгрузки полупроводниковых пластин (ODIS)

Предназначен для применения в составе технологического и контрольно-измерительного оборудования для автоматизации загрузки-выгрузки пластин с использованием открытых кассет или SMIF контейнеров

Модуль кассетной загрузки-выгрузки (MIDAS)

Предназначен для поштучной подачи пластин из кассет в шлюз установки и обратно