Модули загрузки-выгрузки (LPT)

Унифицированный порт загрузки-выгрузки пластин из SMIF контейнеров и открытых кассет

Предназначен для применения в составе технологического и контрольно-измерительного оборудования для автоматизации загрузки-выгрузки пластин с использованием открытых кассет или SMIF контейнеров

Модуль LPT Предназначен для поштучной подачи пластин из кассет в шлюз установки и обратно