Предназначено для очистки, ионного травления и активации поверхности различных изделий. Модельный ряд включает в себя оборудование напольного и настольного типа. Оборудование напольного типа отлично подходит для серийных производств или обработки габаритных деталей. Оборудование настольного типа отлично подойдет для лабораторий и мелкосерийных производств.
Установки плазмохимического травления (реактивного плазменного травления) предназначены для сухого, в том числе для глубокого травления, реализация "Bosch процесса".
Предназначены для осаждения покрытий/пленок металлов, полупроводников, диэлектриков в вакууме PVD методами: магнетронным распылением, резистивным или ЭЛ испарением и др. Модельный ряд включает в себя оборудование как для серийных производств, так и для исследований.
Вы можете приобрести в нашей компании различные компоненты и узлы для вакуумного оборудования, такие как фланцы, вакуумные насосы и др.