Новая статья "Обработка оптических кристаллов и светодиодов в плазме тлеющего разряда" уже в журнале фотоника! Спектр материалов и устройств на их основе, используемых в применениях фотоники, крайне разнообразен. Технологический процесс их использования, как правило, включает операцию плазменной обработки, выполняемую с различными целями: очистка поверхности от органических загрязнений, активация поверхности для последующего нанесения тонкоплёночный оптических покрытий, модификация структуры поверхности, снижение шероховатости (ионная полировка), придание гидрофильных или гидрофобных свойств. Можно выделить такие крупные направления, как лазерная техника, тесно связанная с ней интегральная и волоконная оптика, полукристаллические оптические материалы и др.
Отдельный интерес представляет плазменная обработка оптических кристаллов и твердотельных светодиодов. В статье приведены результаты влияния обработки в плазме тлеющего разряда на свойства оптических кристаллов ZeGeP2 и кассет с чипами твердотельных светодиодов.
