等离子化学蚀刻设备 MPE

等离子化学蚀刻设备 MPE

参数		资料描述
箱体体积 , 公升		24
发电机		高频 13,56 MHz
尺寸（长x宽x高）		1900х800х900 mm
终极真空		5 Pa

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该设备专为氟化物气体中的等离子体化学蚀刻而设计，非常适合硅的深蚀刻。您可以在"技术"部分阅读有关该技术的更多信息。

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