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等离子清洗、活化和蚀刻设备 (MPC)
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Floor system MPC-F1
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等离子清洗、活化和蚀刻设备 (MPC)
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Floor system MPC-F1
MPC-F1 立式等离子材料清洗设备
参数
参数值
腔体体积,公升
从12 到60
发生器
高频, 13,56 MHz
低频, 40 kHz
尺寸 (长x宽x高)尺寸 (长x宽x高)
1700х600х850 mm
极限真空
5 Pa
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这款立式离子材料清洗设备配备,其腔体体积为12至60升,专为生产线上处理工件、大型零部件,或用于研究中心和实验室而设计。
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