Floor system MPC-F1

MPC-F1

参数		资料描述
箱体体积 , 公升		14, 18
发电机	高频 13,56 MHz	低频 40 кHz
尺寸（长x宽x高）		1700х600х850 mm
终极真空		5 Pa

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室容积从5到48公升的MPC-F1地板登上的单位为处理系列产品设计在工厂，维度零件或为工作在研究中心和实验室。

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