| 参数 |
参数值 |
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| 箱体体积 |
from 2 to 12 公升 |
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发生器 |
高频 13,56 MHz |
低频 40 кHz |
| 尺寸（长x宽x高） |
355х570х730 mm |
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| 极限真空 |
5 Pa |
MPC series D1 台式设备 —— 一款紧凑型设备，腔体体积可达12升，可配备低频或高频发生器。适合用于研究、实验、以及小批量产品的处理。低频设备更适合用于离子等离子体刻蚀、氧化膜去除以及清洗。高频设备将是活化和净化的最佳选择。如有任何问题，我们的专家将很乐意为您提供咨询！
