等离子清洗、活化和蚀刻设备 (MPC)

Mpc-multi plasma cleaner 等离子体装置专为金属，半导体，电介质，聚合物的等离子体净化，活化和蚀刻而设计。安装分为地板和桌子版本。

MPC-D1

桌面安装，机身尺寸为355x570x730mm，腔室容积为2至12升

MPC-D1

MPC-D2

桌面安装与身体尺寸500x740x560毫米，相机体积从5到24升。

MPC-D2

MPC-F1

室外安装尺寸为600x800x900mm，腔室容积为5至48升。

MPC-F1

MPC-F2

室外安装尺寸为1900x800x900mm，腔室容积为48至150升。

MPC-F2

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