用于微电子制造设备及自动化传输模块集成的统一晶圆装载/卸载端口
该统一装载端口可实现 SMIF 容器和开放式晶圆载具（Open Cassette）之间的晶圆装载与卸载，适用于与微电子制造设备及自动化传输模块进行集成。
无需更换任何部件即可兼容以下载具：
100 mm、150 mm 和 200 mm 开放式晶圆载具（Open Cassette）；
200 mm SMIF 容器，以及适用于 150 mm 晶圆的 SMIF 容器。
装载/卸载端口具备以下功能：
晶圆尺寸自动识别；
晶圆载具内晶圆位置映射（Wafer Mapping）；
检测载具内双片（Double Wafer）及斜插晶圆（Cross-slotted Wafer）。
此外，该装载端口还可选配 SMIF 容器标签（SMIF Tag）读取功能。
