蚀刻工艺设备 (Equipment for etching processes)

Keto各向异性等离子化学蚀刻设备专用于在微电子制造中对直径不超过 100 毫米的晶片上进行各向异性等离子化学蚀刻和反应离子蚀刻（通过在  工艺台上施加偏压），以及对导电层、介电层和聚合物化合物进行 Bosh 工艺处理。