| 参数 |
参数值 |
| 晶片直径 |
100 mm, 150 mm, 200 mm |
| 端口类型 | SMIF 是一款 200 mm的晶片盒，其中包含一个适用于 150 mm的晶片。100 mm、150 mm和 200 mm的开放式晶片匣 |
| 端口数量，个 | 从1到3 |
| 最小缺陷尺寸 |
80 nm (适用于不透明材料） 300 nm (适用于蓝宝石） |
| 缺陷定位精度 |
±50 mkm |
| 缺陷检测概率 | 95% |
| 重量 |
500 kg |
| 产量 |
从15晶片/小时起 |
| 尺寸（长x 宽 x 高） |
1100 х 1100 х 1920 mm |
