密封容器

密封容器由两个主要部分组成：容器体和容器门。它们共同构成一个密封的腔体，晶片就放置在其中。在容器中的工艺设备之间晶圆的移动可减少它们与环境的接触。

设备与其他机器运行时，密封容器放置在装卸口的顶部。装卸口是密封设备外壳壁上的一个开口，由一个口门从内部关闭。当容器安装在装卸口上，门朝下时，容器体与装卸口外壳是密封的。密封后，装卸口门就会打开，与容器门和容器门上的晶片一起向下滑动。然后晶片位于装卸模块的密封舱内。

密封容器中装有 “智能 ”芯片，内含识别、历史、路线和晶片加工参数等功能。可提高设备利用率，减少潜在的生产物流错误，并提高生产过程中的保密性。