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晶体制造设备

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晶体制造设备

GN tech 公司开发的等离子设备可通过 PVD 方法沉积金属、半导体和电介质涂层,涂层厚度从几个纳米到几十个微米等。设备的配置是根据研究或生产任务制定的。用于生产的设备——不涉及灵活的技术重新调整,并针对具体任务进行最大程度优化的设备。开发和研究的设备拥有最灵活的软件和最灵活的装备。

减少对外部环境的需求

密封容器
“Vega” 远程等离子蚀刻设备用于通过等离子化学方法去除直径为 100/150 毫米的半导体晶片上的聚合物(包括光刻胶)。
远程等离子体中的光刻胶蚀刻
“Aura” 引入缺陷控制设备用于检测直径 100/150 毫米晶片表面的缺陷
控制引入缺陷
“Feba” 多工位通用设备可在一个真空循环中实现清洗、镀膜、蚀刻和热处理等基本技术。
多位置真空设备
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