07.10.2025
MPC-D2与ICP
MPC-D2安装现在可以在一个新的修改-与ICP等离子体发生器。
电感耦合等离子体（ICP）是一种由线圈感应的高频电磁场产生的等离子体放电。 与电容等离子体（CCP，电容耦合等离子体）不同，在两个电极之间发生放电，在ICP中，能量以非接触方式转移，这确保了更高的等离子体密度和更少的设备磨损。
ICP如何运作
1. 位于等离子体室周围的电感器产生交变磁场（通常以13.56mhz或更高的频率）。
2. 在该场的影响下，在气体（氩气，氧气，氮气等）中产生涡旋电场。），使其电离并形成等离子体。
3. 等离子体保持在腔室中，而不与电极直接接触
ICP优于CCP的优势
1. 高等离子体密度更适合蚀刻工艺
2. 离子与电压的独立性-在CCP中，离子在电极层中被加速，这会破坏精细结构;在ICP中，离子和电子的能量是分开调节的。
3. 更好的等离子体均匀性对于处理微电子中的大型衬底是重要的。
4. 低压效率-ICP在低压下比CCP更稳定。
我应该选择什么？
ICP发生器提供比CCP更受控和更强大的等离子体，这使得它们更适合高精度技术工艺。 然而，CCP仍然需要简单和预算友好的解决方案。
